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潔凈室的靜電控制方法有哪些?
盡量減小靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷的產(chǎn)生 這是控制靜電三部曲的第一步,在這凈化工作環(huán)境中,最好的措施:
1、盡量采用性質(zhì)相似器材,減少摩擦過程中產(chǎn)生的靜電電荷;
2、盡量采用導(dǎo)靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷)型或靜電耗材型材料的器材,減少接觸摩擦分離過程中產(chǎn)生積累靜電荷;
3、盡量采用減少接觸摩擦分離而產(chǎn)生靜電荷的生產(chǎn)流程。
泄放和中和 這是控制靜電三部曲的第二步,在微電子生產(chǎn)的凈化室中最通常的措施(指針對問題的解決辦法)是接地,采用導(dǎo)電性或耗散性材料泄放靜電荷,以及離子化消電器和靜電荷。
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